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MT-300半導(dǎo)體檢查顯微鏡
技術(shù)參數(shù)
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配 置 |
MT-200 |
MT-300 |
MT-400 |
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測量范圍(mm) |
X |
200 |
300 |
400 |
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Y |
150 |
200 |
300 |
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Z |
150 |
150 |
150 |
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工作臺 |
鋁合金臺面 |
400*280 |
500*350 |
600*500 |
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玻璃臺面 |
245*192 |
350*250 |
450*350 |
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承 重 |
15Kg |
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影像及 |
CCD |
630萬 1/1.8"高分辨率彩色相機(jī)/HDMI智能量測相機(jī) |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
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三目觀察筒 |
三目觀察筒（分光比50：50），0.65X CTV接口 |
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目鏡 |
PL10X/22平場高眼點(diǎn)目鏡（其中1只十字刻度） |
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物 鏡 |
5X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡）， 5X/0.15 WD 44mm |
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10X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），10X/0.3 WD 34mm |
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20X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），20X/0.35 WD 29mm |
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50X物鏡（明場半導(dǎo)體物鏡），50X/0.5 WD 17mm |
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顯示分辨率 |
0.001mm |
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測量精度 |
X/Y軸 |
（3+L/200）um |
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Z軸(選配) |
（5+L/200）um |
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重 復(fù) 性 |
2um |
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調(diào)焦系統(tǒng) |
手 動 |
Z軸行程150mm， 粗微調(diào)同軸，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈） |
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照明系統(tǒng) |
反射：柯勒照明系統(tǒng)，5W白色LED |
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透射：5W白色LED， |
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偏光裝置 |
直偏、檢偏器 |
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臺式電腦 |
8G/500G/DVD/鍵鼠/+21.5液晶顯示器 |
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測量軟件 |
二維幾何量測量功能主要包括：兩點(diǎn)間距離、點(diǎn)到直線的距離、角度、圓心距；十字線顯示， |
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校正片 |
0.01mm |
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電 源 |
90～240V電壓，50HZ |
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儀器重量 |
320Kg、 |
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可供附件 |
0.5X CTV接口 |
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DIC微分干涉片 |
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100X物鏡（明場無限遠(yuǎn)）， 100X/0.80 WD2.1mm選配 |
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