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4寸研究級別半導(dǎo)體檢查顯微鏡OMT-5RT
全新OMT-5RT 研究級金相顯微鏡集OUMIT多項開創(chuàng)于一身,從外觀到性能都緊跟國際優(yōu)越設(shè)計風(fēng)向,致力于拓展工業(yè)領(lǐng)域全新格局。OMT-5RT 秉承OUMIT不斷探索不斷超越的品牌設(shè)計理念,為客戶提供完善的工業(yè)檢測解決方案。
多檔分光比觀察頭設(shè)計
全新OMT-5RT 系列觀察筒,采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計,支持26.5mm 世界優(yōu)越的超寬視野觀察,帶給您全新的大視野體驗。兩檔式正像鉸鏈三目觀察筒,保證樣品的移動方向與您通過目鏡觀察到的方向一致,使操作更加得心應(yīng)手。
三檔式鉸鏈三目觀察筒,在成像光線100% 用于雙目觀察或三目攝影的基礎(chǔ)上,增加一檔20% 用于雙目觀察,80% 用于顯微攝影,方便用戶同時對鏡下圖像與視頻圖像進(jìn)行對比觀察;
偏振系統(tǒng)
偏振系統(tǒng)包括起偏器和檢偏器,可做偏光檢測,在半導(dǎo)體和PCB 檢測中,可消除雜光,細(xì)節(jié)更清楚。檢偏器分為固定式檢偏器和360 度旋轉(zhuǎn)式檢偏器。360°旋轉(zhuǎn)式檢偏器可在不移動標(biāo)本的情況下,方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài)??稍谄裣到y(tǒng)的基礎(chǔ)上加載OUMIT全新研發(fā)微分干涉器,建立諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)。
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
全新研發(fā)的U-DICR 微分干涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細(xì)微高低差,轉(zhuǎn)化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來,如LCD 導(dǎo)電粒子,精密磁盤表面劃痕等。
物鏡轉(zhuǎn)換器,多孔可選
多孔物鏡轉(zhuǎn)換器可以對同一個標(biāo)本的觀測點(diǎn)進(jìn)行連續(xù)的更加合理的低、中、高放大倍率觀察。全新的物鏡轉(zhuǎn)換器將光軸與轉(zhuǎn)動軸之間的夾角降低到15°,提高了對中精度和齊焦精度,且外觀更加緊湊。
OMT-5RT層厚量測金相顯微鏡 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
光學(xué)放大倍數(shù) |
50倍-1000倍 |
數(shù)碼放大倍數(shù) |
120倍-2400倍(21.5寸顯示器) |
工業(yè)相機(jī) |
1200萬1/1.8寸彩色索尼工業(yè)芯片(可選630萬和2000萬像素) |
觀察筒 |
30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0或0:100 |
目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X26.5mm,視度可調(diào)(可選帶單刻度十字分劃板,) |
物鏡 |
無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X |
無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場半復(fù)消色差金相物鏡50X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場半復(fù)消色差金相物鏡100X |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
明暗場6孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) |
OMT-5RT機(jī)架 上下光源 |
透反兩用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),雙路電源輸出,采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能、反射/透射光切換開關(guān),內(nèi)置透射光濾色鏡(LBD、ND6、ND25) |
OMT-5R機(jī)架 上光源 |
反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
載物臺 |
右手位4英寸機(jī)械平臺,行程105mmx102mm,帶Y軸鎖定機(jī)構(gòu),可帶透射系統(tǒng)擋光板,帶玻璃載物臺板 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
反射照明器 |
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 |
燈室 |
12V100W鹵素?zé)羰?,透、反射通用,預(yù)定中心 |
攝像接口 |
攝影攝像附件:0.5X,C型接口,可調(diào)焦(可選1X的) |
偏光組件 |
起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
電腦 |
戴爾品牌OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W7處理器芯片I5-7500,3.40GHZ內(nèi)存8G,硬盤1TB, DVD光驅(qū) 23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080 |
測量軟件 |
測量軟件OMT-1.5D,拍照,錄像,測量,掃碼上傳,實時圖像拼接,景深融合 |
標(biāo)尺 |
高精度型測微尺,格值0.01mm |