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MT12大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡(12英寸)
型 號
MT12-BD
光學(xué)系統(tǒng)
無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
光學(xué)放大倍數(shù)
50倍-500倍(可選1000倍)
數(shù)碼放大倍數(shù)
150倍-1500倍(21.5寸顯示器)搭配100倍物鏡倍數(shù)可達(dá)3000倍
工業(yè)相機(jī)
1200萬1/1.8寸彩色索尼工業(yè)芯片(可選630萬和2000萬像素)
觀察筒
角度可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0
目鏡
高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(diào)
物鏡
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 5X NA0.15 WD15
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 10X NA0.30 WD8.4
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 20X NA0.40 WD11.9
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 50X NA0.75 WD3.0
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 100X NA0.90 WD1.0 (可選)
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場全復(fù)消色差金相物鏡 50X NA0.55 WD8.0 (可選)
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場全復(fù)消色差金相物鏡 100X NA0.80 WD2.8 (可選)
物鏡轉(zhuǎn)換器
手動(dòng)明暗場五孔物鏡轉(zhuǎn)盤//電動(dòng)明暗場5孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),物理按鈕和軟件雙控.
機(jī)架
透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
載物臺
14*12英寸平臺,平臺面積 710*420mm,移動(dòng)行程:356mmX305mm機(jī)械平臺,X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動(dòng)裝置
聚光鏡
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)
反射照明器
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,
燈室
5W可調(diào)LED燈室,透、反射通用,預(yù)定中心
攝像接口
攝影攝像附件:0.65X,C型接口,可調(diào)焦(可選0.5X/1X)
偏光組件
起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板
電腦
品牌電腦和顯示器
測量軟件
測量軟件OMT-1.5D,軟件控制電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤,拍照,錄像,測量,掃碼上傳,實(shí)時(shí)圖像拼接,景深融合
標(biāo)尺
高精度型測微尺,格值0.01mm