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OMT-6RT明暗場半導體晶圓檢查顯微鏡
無限遠鉸鏈三通觀察頭
暗場觀察:將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷。內置衰減片,減少明暗場切換時光線劇烈變換對眼睛的刺激。
簡易偏光觀察:將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的指定位置,即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和 360°旋轉式兩種。
DIC 微分干涉觀察:在正交偏光的基礎上 , 插入 DIC 棱鏡,即可進行 DIC 微分干涉觀察。使用 DIC 技術 , 可以使樣品表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度??善ヅ鋷?DIC 功能的物鏡,使整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色 , 高倍物鏡 DIC 效果也較好。
OMT-6RT明暗場量測金相顯微鏡
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光學系統(tǒng) |
無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
光學放大倍數 |
50倍-1000倍 |
數碼放大倍數 |
120倍-2400倍(21.5寸顯示器) |
工業(yè)相機 |
630萬1/1.8寸彩色索尼工業(yè)芯片(可選1200萬和2000萬像素) |
觀察筒 |
30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0或0:100 |
目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(可選帶單刻度十字分劃板,) |
物鏡 |
無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡5X |
無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡10X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡20X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡50X |
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無限遠超長工作距高分辨率明暗場半復消色差金相物鏡100X |
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物鏡轉換器 |
明暗場6孔轉換器(帶DIC插槽) |
OMT-6RT機架 上下光源 |
透、反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置 . 內置100-240V寬電壓系統(tǒng),5W 暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨立可控 |
OMT-6R機架 上光源 |
反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設定暗扭與復位按扭。 |
載物臺 |
4”雙層機械移動平臺,行程105x 105mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
反射照明器 |
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調 ;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 |
燈室 |
10W可調LED燈室,透、反射通用,預定中心 |
攝像接口 |
攝影攝像附件:0.5X,C型接口,可調焦(可選1X的) |
偏光組件 |
起偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 |
電腦 |
戴爾品牌OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W7處理器芯片I5-7500,3.40GHZ內存8G,硬盤1TB, DVD光驅 23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080 |
測量軟件 |
測量軟件OMT-1.5D,拍照,錄像,測量,掃碼上傳,實時圖像拼接,景深融合 |
標尺 |
高精度型測微尺,格值0.01mm |