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熒光觀察法
日期：2025-04-04 16:16
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摘要：
熒光觀察法
半導體晶圓上的顆粒
該項技術適用于觀察那些在受到專門設計的濾鏡（可以按照檢測需要制作）照明時會發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長的光線）的樣本。該方法通過熒光染色，應用于觀測半導體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘渣和裂痕的檢測。可以添加選購的復消色差光源聚光透鏡系統(tǒng)，從而為可見光到近紅外線范圍內的色差進行補償。 
