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顯微激光測振儀
顯微激光測振儀特點:
非接觸測量,無負載;
激光光斑極小,微米級;
優(yōu)越的帶寬和動態(tài)范圍;
高空間分辨率;
工作距離可選;
高靈活性、易安裝、易操作;
振動傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
配有同軸照明裝置和相機,可以方便迅速地確定測量位置。
顯微激光測振儀擴展功能:
利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內(nèi)振動特性(可定制)
通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)
顯微激光測振儀應用領域:
微機電系統(tǒng)(MEMS)動態(tài)測試
生命科學、醫(yī)學、動物學研究,如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
計算機外設的動態(tài)測試:硬盤驅(qū)動器、光盤機、磁帶機、頭/盤接口等;
超聲振動測量
壓電陶瓷振動測量
弦線/絲線振動特性測量
微型陀螺儀振動測量
顯微激光測振儀技術參數(shù) |
|
工作溫度 |
3℃ - 45℃ |
工作濕度 |
<90% |
電 源 |
220 - 240Vrms,50-60Hz |
激光波長 |
He-Ne Laser 632.8nm |
速度量程① (可選) |
50mm/s,100mm/s,500mm/s 1m/s,5m/s,10m/s |
輸出電壓 |
±10V |
頻率范圍 |
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz (根據(jù)解調(diào)卡而定) |
濾波設置 |
高通低通濾波設置 |
速度分辨率② |
1um/s |
位移分辨率 |
0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
大線性誤差 |
1.00% |
機 架 (標準配置) |
反射用機架,低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm,微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
光學參數(shù) |
檢測器尺寸:1/2 測量距離:9mm(使用10X物鏡時) |
觀測裝置 |
CMOS數(shù)碼相機: 320萬像素(USB2.0) |
注 ① 可以根據(jù)客戶要求選擇適當量程
②采用高分辨率解調(diào)卡,速度分辨率可達0.02um/s