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緊湊的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)小的占地空間
• 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
• 標(biāo)配158×158mm手動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)(大可用于200mm晶圓檢查)
• 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
• 采用防靜電設(shè)計(jì),極大方便磁頭檢查
• 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)) |
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顯微鏡鏡體 |
Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦,載物臺(tái)行程范圍:32 mm(從焦面上行2 mm和下行30 mm) 行程相同:15 mm(配合透射光照明) Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1 mm(1個(gè)單位1 μm) 調(diào)焦機(jī)構(gòu)張力可調(diào) 有調(diào)焦上限位機(jī)構(gòu) |
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照明系統(tǒng)
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BX-KMA 明視場照明器 |
BX-RLA2 明視場/暗視場照明器 |
觀察方式轉(zhuǎn)換 |
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明視場-暗視場滑塊轉(zhuǎn)換法 |
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可適用觀測模式 |
①明視場法 ②DIC微分干涉襯比法 ③偏振光照明法 |
①明視場法 ②暗視場法 ③DIC微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光 |
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光源 |
6V30W瓦鹵素?zé)?/p> 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4 |
12V100W瓦鹵素?zé)?/p> 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中 |
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透射照明 |
明視場MX-TILLK照明燈,配備光纖照明附件(MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用) |
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觀察鏡筒 |
U-BI30-2 寬場雙目鏡筒, U-TR30-2 寬場三目鏡筒, U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22),U-SWTR 超寬場三目鏡筒,MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) |
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物鏡換鏡轉(zhuǎn)盤 |
U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽) |
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載物臺(tái) |
U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺(tái) MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺(tái) |