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蘇州歐米特發(fā)布新款12寸晶圓檢查顯微鏡
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型 號 |
MT12-BD |
光學系統(tǒng) |
無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
光學放大倍數(shù) |
50倍-500倍(可選1000倍) |
數(shù)碼放大倍數(shù) |
150倍-1500倍(21.5寸顯示器)搭配100倍物鏡倍數(shù)可達3000倍 |
工業(yè)相機 |
1200萬1/1.8寸彩色索尼工業(yè)芯片(可選630萬和2000萬像素) |
觀察筒 |
角度可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0 |
目鏡 |
高眼點大視野目鏡PL10X26mm,視度可調 |
物鏡 |
無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 5X NA0.15 WD15 |
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 10X NA0.30 WD8.4 |
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 20X NA0.40 WD11.9 |
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 50X NA0.75 WD3.0 |
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡 100X NA0.90 WD1.0 (可選) |
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無限遠長工作距明暗場全復消色差金相物鏡 50X NA0.55 WD8.0 (可選) |
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無限遠長工作距明暗場全復消色差金相物鏡 100X NA0.80 WD2.8 (可選) |
物鏡轉換器 |
電動明暗場5孔轉換器(帶DIC插槽),物理按鈕和軟件雙控. |
機架 |
透反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統(tǒng),采用數(shù)字調光,具有光強設定與復位功能 |
載物臺 |
14*12英寸平臺,平臺面積 710*420mm,移動行程:356mmX305mm機械平臺,X、Y方向同軸調節(jié);含快速移動裝置 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
反射照明器 |
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調,帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽, |
燈室 |
5W可調LED燈室,透、反射通用,預定中心 |
攝像接口 |
攝影攝像附件:0.65X,C型接口,可調焦(可選0.5X/1X) |
偏光組件 |
起偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 |
電腦 |
品牌電腦和顯示器 |
測量軟件 |
測量軟件OMT-1.5D,軟件控制電動物鏡轉盤,拍照,錄像,測量,掃碼上傳,實時圖像拼接,景深融合 |
標尺 |
高精度型測微尺,格值0.01mm |