MT-200微分干涉工具顯微鏡
技術(shù)參數(shù)
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配 置
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MT-200
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MT-300
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MT-400
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測量范圍(mm)
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X
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200
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300
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400
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Y
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100
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200
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300
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Z
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150
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150
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150
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工作臺
(mm) |
鋁合金臺面
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350*250
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500*350
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600*500
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玻璃臺面
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250*150
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350*250
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450*350
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承 重
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15Kg
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影像及
測量系統(tǒng) |
CCD
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美國TEO 1/2"高分辨率彩色相機(jī)
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光學(xué)系統(tǒng)
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無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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三目觀察筒
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三目觀察筒（分光比50：50），1XCTV接口
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目鏡
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PL10X/22平場高眼點目鏡（其中1只十字）
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物 鏡
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5X物鏡（明場無限遠(yuǎn)，DIC）， 5X/0.13 WD10.8mm
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10X物鏡（明場無限遠(yuǎn)，DIC），10X/0.25 WD10.0mm
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20X物鏡（明場無限遠(yuǎn)，DIC），20X/0.40 WD4.0mm
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50X物鏡（明場無限遠(yuǎn)）， 50X/0.55 WD7.9mm
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顯示分辨率
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0.001mm
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測量精度
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X/Y軸
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（3+L/200）um
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Z軸(選配)
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（5+L/200）um
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重 復(fù) 性
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2um
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調(diào)焦系統(tǒng)
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手 動
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Z軸行程150mm，粗微同軸，小調(diào)節(jié)精度2um
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照明系統(tǒng)
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反射：柯勒照明系統(tǒng)，24V/150W光釬冷光源
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透射：5W白色LED，
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微分干涉裝置
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DIC微分干涉組件（反射光用），含直偏、檢偏器
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臺式電腦
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2G/500G/DVD/鍵鼠/+19液晶顯示器
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測量軟件
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二維幾何量測量功能主要包括：兩點間距離、點到直線的距離、角度、圓心距；十字線顯示，
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校正片
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0.01mm
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電 源
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90～240V電壓，50HZ
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儀器重量
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320Kg、
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可供附件
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0.5X CTV接口
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100X物鏡（明場無限遠(yuǎn)）， 100X/0.80 WD2.1mm選配
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