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熒光觀察法

日期:2024-11-08 05:31
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摘要:
熒光觀察法
半導(dǎo)體晶圓上的顆粒

該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察那些在受到專門設(shè)計(jì)的濾鏡(可以按照檢測(cè)需要制作)照明時(shí)會(huì)發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長(zhǎng)的光線)的樣本。該方法通過熒光染色,應(yīng)用于觀測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘?jiān)土押鄣臋z測(cè)。可以添加選購(gòu)的復(fù)消色差光源聚光透鏡系統(tǒng),從而為可見光到近紅外線范圍內(nèi)的色差進(jìn)行補(bǔ)償。


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